在 2025 湾区半导体产业生态博览会上，苏州新施诺半导体设备有限公司携自主研发的 AMHS（自动化物料搬运系统）核心装备 ——OHT（天车系统）实机亮相，凭借卓越性能与国产替代贡献斩获 “2025‘湾芯奖’之卓越企业奖”。这一亮相不仅彰显了中国企业在半导体智能物流领域的技术突破，更标志着晶圆厂 “空中高速公路” 的自主化建设迈入关键阶段。在 AI 算力与先进封装之外，AMHS 正成为半导体制造智能化的核心赛道，承载着物料流转与数据传输的双重使命，为 AI 驱动的良率优化筑牢数据根基。

AMHS：12 英寸（吋）晶圆厂的 “神经中枢”

在12 英寸晶圆成为行业主流的当下，物流系统的效率与稳定性已成为制约良率和产能的关键因素。在半导体制造的数千道工序中，单片晶圆单次生产周期的流转距离超 20 公里，需在数百台设备间完成上千次搬送。一座 12 英寸晶圆厂的 OHT 轨道总长可达数十公里，每日搬运任务高达几十万次，其复杂程度堪比中等城市的立体交通网络。

图：新施诺天车系统

更为严苛的是，极限工艺下的 AMHS 系统需达到 “五个九” 的极致稳定性（可用性 99.999%），任何短暂停机都可能导致整条产线停摆，造成数百万至上千万的经济损失。OHT 系统因此被誉为晶圆厂的 “神经中枢”，不仅要完成物料精准搬运，更需维护洁净环境、保障生产连续性，并搭建产能调度的数据桥梁，成为半导体制造不可或缺的核心基础设施。

技术破局：新施诺的国产化实践与核心优势

长期以来，高端 AMHS 市场被日韩厂商垄断，国内企业多局限于配套环节。2020 年后，受国际技术封锁与供应链风险影响，AMHS 国产化上升至战略高度。新施诺应运而生，由新松机器人、中芯聚源等产业投资方联合发起，依托全资子公司韩国 SynusTech 四十余年的 AMHS 工程经验，在短短两年内完成了从样机验证到大规模部署的跨越式发展。

在硬件性能上，新施诺的 OHT 小车已达到国际先进水平：直线最高速度 5.3m/s，转弯速度 1.0m/s，加速度与减速度分别达 2m/s² 和 3m/s²；标准负载 15kg，可定制最大负载 50kg，兼容多种规格载具；重复定位精度 ±1mm，确保与工艺设备端口精准对接；平均无故障时间（MTBF）超 2000 小时，系统可用性达 99.999%，能在 Class 10 超高洁净环境中稳定运行。其平均无故障搬运次数（MCBF）已实现≥12 万次，振动幅度控制在≤0.5g 范围内，满足晶圆制造的严苛要求。

软件层面，新施诺构建了完整的自主研发体系，包括负责物料流调度的 MCS（物料控制系统）、实现天车实时控制的 TCS（传输控制系统）、管理单车运行的 VCS（车辆控制系统），以及构建 3D 虚拟工厂的 DTS（数字孪生系统）。这套软件堆栈采用 Linux + 自研控制器架构，可兼容晶圆厂 MES 系统，实现 “软硬一体” 管控。其中 MCS 系统日均能处理 70 万 + 搬运指令，支持千台天车协同调度，兼容主流协议并可在线升级，在大规模制造环境下的调度效率与稳定性达到行业领先水平。数字孪生技术的应用则实现了物流系统的仿真模拟、预测性维护与能耗优化，助力晶圆厂实现智能化运维转型。

国产化痛点与新施诺的破局之道

尽管市场前景广阔，AMHS 国产化仍面临三重核心痛点。其一，系统稳定性要求极高，是普通工业品的 10 倍以上，需长期的测试验证与现场数据积累，无法快速速成，核心技术细节与经验积累构成了关键壁垒。其二，供应链安全与良率平衡的矛盾突出，零部件国产化替换的风险呈指数级叠加，可能导致整厂宕机，需在 “纯国产化” 与 “国产可控” 间寻找平衡。其三，复合型人才匮乏，行业亟需兼具 Fab 背景与机器人技术的专业人才。

针对这些挑战，新施诺采取了务实有效的应对策略。在技术积累上，依托海外团队四十年经验加速产品可靠性迭代，通过 “产品定义 + 底层设计” 双线组建团队，实现人才互补。在供应链方面，推行 “分步替换、充分测试、验证通过” 的渐进策略，平衡国产化节奏与系统良率。在服务保障上，公司在长三角、环渤海、珠三角等晶圆制造集中区设立服务中心，实现 “1 小时响应、7×24 小时维护”，满足客户对响应时效的严苛要求。

截至目前，新施诺已服务多家国内 8 英寸与 12 英寸晶圆厂，涵盖晶圆制造、封测、硅片等多个领域，累计交付 OHT 系统超 200 套，轨道总长超 9000 米，于 2025 年 2 月获得晶圆厂量产订单，订单金额突破 3 亿元。这些部署案例不仅验证了技术成熟度，更为国产 AMHS 积累了宝贵的工程经验与数据模型。

市场机遇与未来发展蓝图

根据 SEMI 统计，2024 年全球新建晶圆厂中 42% 位于中国大陆，预计 2025 年中国晶圆产能占全球比重将从 19% 升至 24%，超越韩国。当前中国大陆 AMHS 市场国产化率不足 30%，2025 年市场规模预计将达 200 亿元人民币，新建厂房的全自动系统导入与老厂房改造升级需求迫切，为本土厂商提供了历史性增长窗口。

新施诺制定了清晰的 “三阶段演进” 路线图：2023–2024 年完成 OHT 1.5 代国产化落地与软件系统开发；2025–2026 年推出 New-OHT 与 New-STK 系列，实现全面自主控制；2027 年实现 New-AMHS 2.0 系统量产，达到世界级性能指标。同时，公司计划通过 “横向并购 + 纵向整合” 双轮策略加速扩张：横向上拓展 AMHS 在新能源、面板等行业的应用；纵向上收购 CIM/MES 软件企业与 OHT 零部件公司，构建完整智能制造生态链。

技术迭代方面，新施诺正推进新一代天车系统研发，聚焦车体轻量化、内部布线拓扑优化、电路板布局升级等方向，重点解决电磁干扰抑制难题，进一步提升设备长期运行的稳定性与可维护性。依托 “设备 + 资本 + 客户” 的深度合作结构，新施诺正朝着国内 AMHS 领域核心供应商与行业引领者的目标迈进。

自主可控：半导体产业安全的 “护城河”

AMHS 国产化的意义远超单一装备替代，它标志着中国在晶圆制造系统层面的自主化迈出关键一步。OHT 系统作为物料流动的控制核心与生产数据的采集入口，若长期依赖进口，不仅会面临维护升级受限的风险，更可能造成生产数据的外部依赖与安全隐患。在数字孪生、预测性维护、AI 排程算法全面渗透的趋势下，未来晶圆厂将向自适应工厂演进，AMHS 系统的数据闭环直接影响良率提升、能耗控制与运营效率。

从产业全局来看，国产 AMHS 的自主可控不仅是保障半导体产业链安全的 “护城河”，更是中国迈向智能制造的 “起跑线”。新施诺等企业的技术突破与产业化实践，正为中国半导体产业高质量发展注入强劲动力，推动 “中国制造” 向 “中国智造” 加速转型。在全球半导体竞争格局重塑的当下，国产 AMHS 的突围之路，终将成为中国半导体产业自主化征程中的重要篇章。